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扫描电子显微镜SEM的结构及原理 - 分析测试百科网

扫描电镜主要由电子光学系统，显示系统，真空及电源系统组成。一、电子光学系统包括电子枪，聚光镜（*、第二聚光镜和物镜），物镜光阑和扫描系统。

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