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掃描式電子顯微鏡 - 光電與積體電路故障分析中心

SEM 是由電子槍(Electron Gun)透過熱游離或場發射原理產生高能電子束，經過幾組聚焦透鏡(Condenser Lens)的聚焦，並利用偏向線圈(Deflection Coils)偏折電子束，最後透過 ...

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