3 掃描式電子顯微鏡(SEM) 剖面/晶背研磨(Cross-section & Backside) 掃瞄式電子顯微鏡主要是來觀察物體的表面型態,其試片製作較簡單,解析度可達奈米尺度且景深長,在 ...
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