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接觸式表面輪廓儀於導光板V 形微結構特徵尺寸之量測

掃瞄電子顯微鏡(Scanning electron microscope, SEM)等。SEM可獲得導光板精確的三維形貌 ... 而對於不導電的試片如導光板需先電鍍導電層，量測成本高。AFM可量測高深.

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