結後的試片之晶粒顆粒大小及顯微結構是以掃瞄式電子顯微鏡(SEM, Hitachi S-3000N) 觀察之;. 利用雷射粒度分佈儀(BECKMAN COULTERTM) 量測碳化矽粉末的粒度分佈。
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