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聚焦離子束與電子束顯微系統- airTMD
若結合場發射式電子顯微鏡(SEM)進行即時觀測,即所謂的雙粒子束FIB(Dual Beam FIB)。 ... 穿透式電子顯微鏡(TEM)試片製作 5.一般SEM觀測
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