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FE-SEM 操作手冊 - 明志科技大學-材料工程系

(4) HLDR 指示燈亮，表示試片交換平台位置已在FE-SEM 主腔體(Specimen chamber)中。 ... (3) 電子束校正控制(ALIGNMENT)：按下STIG(像差補償器)，以左下圖中的X、Y ...

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