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FA故障分析- 承測科技

SEM 透過聚焦電子束對樣品表面進行照射，進而產生二次電子(SE)、背向散射電子(BSE)、X-射線(X-Ray)等二次訊號，偵測器蒐集此類二次訊號構築出樣品表面特徵影像。

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