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SEM + EDS with E-beam writer - MANLAB 嚴大任老師實驗室

電子束與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，如: 二次電子、背向散射電子及特性X光等，SEM主要就是收集二次電子的訊號來成像。由於SEM解析度高，放大倍率可達到數十萬 ...

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