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【科技趣聞】液態材料的缺陷，如何用SEM檢測?

針對一般的樣品，以往我們會使用掃描式電子顯微鏡SEM(Scanning Electron ... 米之氮化矽SiN薄膜，仍可以激發出液態樣品表面之二次電子或背向電子，藉此可以順利成像。

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