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sem二次電子
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聚焦離子束顯微鏡(FIB) - MA-tek 閎康科技
但是若是離子束沒有對準這些方向,在表層即會和樣品原子產生碰撞,而有較多的二次電子或背向散射的入射離子產生,信號偵測器所收到的信號較強。
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「sem二次電子」
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