二次電子 解析度1.0nm(15kV下). (7).EDS可提供全能譜定性分析(Be 4 ~U 92 )、半定量分析及元素分佈圖. (8).離子研磨機使用氣體:氬氣(Ar). (9).剖面研磨範圍X:≥7mm Y: ≥ ...
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