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國立嘉義大學貴重儀器中心The Instruments Center of NCYU

【儀器原理及功能】 ... 將上電極加熱器的電源及溫度Sensor導入真空腔體. 冷卻用。 ... SCR. 21. SCR. 22 DC24V的電源供應器. 23. 電磁閥. 控制下電極加熱器切斷開關。

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