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功率MOSFET的掃描電容顯微鏡（SCM）

研究這些設備的另一種方法是基於AFM的掃描電容顯微鏡（SCM）。 SCM生成具有高橫向分辨率的半導體中電活性載流子分佈圖。 在SCM測量期間，金屬化探針與半導體樣品接觸以 ...

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