所述步骤(3)中氨气的流量为0.01～50sccm，例如0.01sccm、0.1sccm、1sccm、5sccm、10sccm、15sccm、20sccm、25sccm、30sccm、35sccm、40sccm、45sccm或50sccm等。 所述步骤( ...
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