用途. 蚀刻. 灰化. 规格. 反应生成物对策型. 离子镀. 工具. 标准型. 离子镀. 太阳能电池板 ... ※2: 根据型号规格有所不同※3: 1Pa·L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压).
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