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質量流量

質量流量換算: 1sccm=分子量/22400(g/min). 二、 層流. 真空可區分為四個區域: 粗略 ... Q:Carrier gas 流量(sccm). K :氣泡效率. 舉例:供給0.5g/min 之TEOS,其Carrier gas ...

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