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場發射型掃描式電子顯微鏡 - 國立中山大學

掃描式電子顯微鏡其成像原理是利用一束具有5～30 kV之電子束掃描試片的表面，接收表面產生之訊號(包括二次電子、背 ... SEI(Scanning Electron Image).

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