SC1 及SC2最早由RCA公司所發明用於清洗製程，所以SC-1及SC-2又稱RCA-1及RCA-2。 ... 的界面活性劑，來幫助化學品接觸疏水性的矽晶圓表面，同時也可改善蝕刻後晶圓表面的 ...
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