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扫描声学显微镜（SAT）操作与应用指南，芯片检测不可不知的 ...

SAT 简介声学扫描显微镜(SAT)是一种利用超声波特性多功能、高分辨率的显微成像仪器。 ... 论文研究- C扫描声扫描显微镜研究单晶SiC晶片中的不均匀性.

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