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快速橢偏單層膜計算模組開發 - 台灣儀器科技研究中心

Yu-Sung Hsieh, Yu-Jen Lu, Yi-San Chang ... 本文探討將橢偏術應用於單層薄膜之膜厚計算過程所需建立的演算模型、軟體 ... 快速得到膜厚值且能避免多重解之優勢。

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