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氣相沉積法 - 華人百科
化學氣相沉積法是傳統的製備薄膜的技術,其原理是利用氣態的先驅反應物,通過原子、分子間化學反應,使得氣態前驅體中的某些成分分解,而在基體上形成薄膜。
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