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薄膜電晶體液晶顯示器製造流程 - 電子歷程e-Portfolio

Array 段製程－化學氣相沉積(CVD). • 反應氣體分子由主. 氣流(Main ... 乃是利用電漿內的高能電子，撞擊製程氣體分 ... 角) 傾斜。 Cell 段製程－配向(Rubbing) ...

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