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双腔全自动12英寸LH-RTA-A快速退火炉RTP

快速退火炉RTP. ... 名词解释RTA：Rapid Thermal Annealing 快速热退火。 ... 5、升温速率 ≦150℃/秒（升温速度随不同的材料及装置会有差异，标准数据是裸片放置内测量 ...

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