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國立陽明交通大學機構典藏：快速熱程序設備之系統整合(II)

因此近年來RTP之核心技術被大量應用在快速氧化(RTO)，快速退火(RTA)或快速熱化學氣相 ... 因此RTP設備的等級是根據溫度追蹤的誤差以及晶圓表面的均溫程度來區別。

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