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BST 介電薄膜在12吋矽晶圓上快速熱回火製程中熱物理性質及熱

Deposition，RTCVD)和快速回火製程(Rapid Thermal Annealing，RTA)等相關技術[5，6]，圖. 1-2 為RTP 的示意圖。其在結構方面可分成熱源系統與爐壁主體結構兩個方面， ...

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