除了大量应用于rta 工艺以外, rtp 设备也开始应用于快速热氧化、快速热氮化、快速热 ... 半導體和絕緣體之間的差異主要來自兩者的能帶間隙(Bandgap)寬度不同。.rtp ...
確定! 回上一頁