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半导体快速热处理技术取得新进展

RTP 是一种半导体制造技术，晶圆在1000℃以上的温度下用激光或高强度灯加热几秒钟。 ... 快速热退火（RTA）的优化控制用于制造微电子器件所需的超浅结。

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