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穿隧氧化層氮化技術對SONOS 快閃記憶體之特性研究

熱處理(RTP, Rapid Thermal Processing)方式,. 通入含氮氣體同時進行退火。 ... 成長3奈米,並探討相關特性差異量比較;而 ... NH; Nitridation and N₂O RTA Treatment,".

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