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RTP，即快速熱處理，是一種升溫速度非常快保溫時間

RTP 快速熱處理（rapid thermal processing)，是一種升溫速度非常快的， ... RTA是將工件加熱到較高溫度，根據材料和工件尺寸採用不同的保溫時間，然後進行快速冷卻， ...

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