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火侯拿捏精準到位半導體製程再進化 - i創科技

相較之下，微波退火的溫度比RTA更低，而且可以同時批次處理多片晶圓，成為更理想的解決方案，而且只需置換現有的退火設備，原有前後上下游的製程都不需要 ...

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