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RTP 快速升降溫製程

快速熱退火(Rapid Thermal Annealing, RTA)，在石英管中通入氬氣或氮氣等氣體，用極快的的升溫和目標溫度短暫的持續時間來進行處理，可將材料表面結構重組、缺陷的減少、 ...

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