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rtp退火
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堆疊型化合物薄膜太陽電池材料 - 材料世界網
另外也嘗試利用快速熱製程(RTP)退火至550˚C約5分鐘(以Ar氣體將S氣氛帶入 ... 兩階段共蒸鍍明顯提高了CIAS膜層的平整度,晶粒尺寸則受到RTP而變大。
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