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CINmat微波退火_中文版(final) | 健康跟著走

RTP 和高溫爐退火的掺雜物擴散. 多晶矽. 矽. RTP 退火. 高溫爐退火. 多晶矽. 矽. 閘極. , 退火一般是利用高溫來對於產品做一些需要的晶格修復，或是原料再反應、 .

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