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RTP-6 经济型快速热处理系统(4-6inches) | ADVANCE RIKO,Inc.

... 可均匀热处理最大6英寸的圆晶。该系统可进行快速的热处理，最适合热处理工艺的研究与开发。可用于半导体工艺中硅化物的形成以及半导体化合物的过程退火。

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