你即將離開本站

並前往https://zhuanlan.zhihu.com/p/369004119

快速退火炉RTP设备的介绍 - 知乎专栏

快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃，从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能。

確定！ 回上一頁

查詢 「rtp退火」的人也找了：

  1. 半導體退火原理
    2.
  2. 瞬間退火
    3.
  3. 快速升溫製程處理rtp
    4.
  4. rapid thermal processing中文
    5.
  5. 快速退火優缺點
    6.
  6. rtp原理
    7.
  7. Rapid thermal processing
    8.
  8. 快速熱退火
    9.