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CN102017101A - 用于旋转基板的非径向温度控制系统 - Google

[0002] 快速热处（RTP)是半导体处理中的一种基板退火程序。在RTP期间，基板一般是由靠近边缘区域的支撑装置予以支撑，并在受一个或更多个热源加热时由其加以旋转。

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