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快速退火工藝：RTP(Rapid Thermal Processin - 華人百科

RTP (Rapid Thermal Processing)快速熱處理，是在非常短的時間內將整個矽片加熱至400~1300℃濕度範圍內的一種方法，相對於爐管退火，它具有熱預算少，矽中雜質運動小， ...

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