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c.RAPID 200: 硅基及化合物半导体快速热处理系统(RTP)

硅基及化合物半导体快速热处理系统(RTP) ... centrotherm独立的RTP系统c. ... 用于SiC 和其他材料在氩气、氮气和氢气气体氛围下的高温退火工艺.

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