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RTP-100快速退火炉 - 载德半导体技术有限公司
离子注入/接触退火; - 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN); - 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;
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