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利用具有氨的超低压快速热退火调节氧氮化硅的氮分布曲线

该方法包括利用氮化气体和快速热退火处理将氮加入到电介质薄膜中， ... 在可控制的环境下被有效地氮化而不会有O2或H2O污染，而且薄膜中的氢也可以通过RTP退火除去。

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