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半導體行業（七十八）——加熱工藝（十九 - 壹讀

當溫度較低時，摻雜物原子的擴散速度比矽原子的退火快；然而在高溫 ... 其他RTP退火過程包括合金退火，特別是鈦金屬矽化合物和鈷矽化物工藝，這些通常 ...

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