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单晶圆雷射退火处理机

因应RTP退火设备过高温度带来的损害，本机以雷射退火方式做为RTP设备的改善方案，以符合晶圆薄化后的退火制程需求。 本机所采用的雷射光源能量不仅可提供高达一千四 ...

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