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以快速退火法研製矽化鉑接觸之淺接面

另一方面，本研究也對於完全快速溫度製程，即以快速矽化及快速退火所製備的淺接面，做初步的探討。 ... RTA( Rapid Thermal Annealing),RTP. 公開日期: 1993.

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