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第五章二氧化鉿金屬閘極場效電晶體的電性量測
3.33nm,而RTO 前處理未退火ヽ經過600℃和800℃退火後的二氧化鉿薄 ... 次臨界斜率的定義為當汲極電流增加十倍時所需要增加的閘極電壓,.
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