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研究氙燈輻射與熱板傳導作用機制對晶圓製程

... RTA的活化製程技術。在傳統的快速熱回火RTA製程，熱擴散會擴散通過到源極和汲極，因此它無法被應用到65nm以後的元件。此外，在傳統的快速熱回火RTA ... 醫學院年報 · 醫學院 ...

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