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晶圓級薄膜材料性質演算法之穩健性探討 - ResearchGate

的穩健性(robustness)分析，探討測試鍵(testkey)結構. 長度差(∆L)、材料晶格方向及結構長度對於待測薄膜. 之萃取的楊氏係數(E)與平均應力(σ0)的變異性分析。

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