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矽晶圓製造業資源化應用技術手冊

研磨漿料（Slurry）. H2O- H2O2-NH4OH. H2O- H2O2-HCl. 廢多晶矽. 廢石英坩堝. 廢矽晶頭尾料. 廢矽晶堝底料. 廢切削油. 無機性污泥. 矽粉塵. 廢油泥. 廢酸（鹼）.

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