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半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術 - 機械工業網

... 的差異不如氣靜壓主軸與氣靜壓旋轉工作台相對剛性的百倍差異來得重要。 ... it shows that the relative rigidity between the spindle and the ...

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