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rie蝕刻原理
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電漿蝕刻原理 - 3Mp6Jr0
其工作原理就是利用電漿在臨近邊界即積體電路板面處產生的鞘層電場。這樣,電漿中主要的技術,反應離子蝕刻rie ,是用離子帶電微粒轟擊晶片表面來去除材料。針對最微小的 ...
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